제품소개

반도체용 쿼츠웨어

반도체 각 공정에 사용되는 쿼츠웨어제품군

고순도, 고온 및 내화학적 특성이 우수하여
반도체 에칭, 확산등 각 공정에서 사용됩니다.

제품 사진

FOCUS RING, COVER RING, SHADOW RING, CONFINMENT RING, 각종 RING 류
DISC 류
기타 쿼츠제품

제품 특성표

Purity(%) 순도 99.999
Thermal Resistance(ºC) 내열성 >1200ºC
Thermal Conductivity(W/mK)열전도  1.5
Thermal Expansion(x10-6/°C) 열팽창계수 4.3
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 비커스경도 8.6
Bending Strength(MPa) 굽힘강도 70
Compressive Strength(MPa) 압축강도 1100
Specific Heat(20~350◦C) 670
Dielectric Constant(25°C 1MHz)유전상수 3.7~3.9